Na linii produkcyjnej nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C podczas procesu suszenia płytek krzemowych może doprowadzić do straty całej partii produktów. Stworzyliśmy specjalne grzejniki podczerwieni, aby uniknąć tego ryzyka. Dzięki nim uzyskujemy precyzyjną kontrolę temperatury na poziomie poszczególnych płytek krzemowych podczas procesów suszenia, utwardzania fotorezystu, pakowania oraz suszenia po czyszczeniu.
Co jest istotne w tych urządzeniach Jest to grzejnik działający w zakresie bliskiej podczerwieni, który posiada dostosowany profil spektralny – dzięki temu ogrzewa bezpośrednio cel, bez konieczności użycia specjalnych pojemników czy powodowania zanieczyszczeń. Jednolitość temperatury na powierzchni płytki krzemowej wynosi ±0,1°C, a powtarzalność wyników przy kolejnych procesach suszenia wynosi ±0,5°C. Czas reakcji grzejnika wynosi mniej niż dwie sekundy, więc kontrola temperatury jest dokładna. Klasy czystości 1–100 można osiągnąć dzięki użyciu elementów z kwarcu i ceramiki, materiałów, które nie wytwarzają żadnych gazów, oraz konstrukcji, która zapobiega powstawaniu cząstek. Te urządzenia są przeznaczone do pracy 24/7, mają długą żywotność – dziesiątki tysięcy godzin – a także umożliwiają szybku wymianę modułów w celu skrócenia czasu przerwy w produkcji.
W procesie litografii procesy suszenia fotorezystu wpływają na precyzję wymiarów produktów. Nasze grzejniki umożliwiają precyzyjną kontrolę temperatury fotorezystu, co zmniejsza zmienność szerokości linii na powierzchni płytki krzemowej i poprawia efektywność produkcji. Podczas suszenia płytek krzemowych i po czyszczeniu szybkie i jednolite ogrzewanie zapobiega pojawieniu się smug i innych defektów na powierzchni płytki – bez konieczności kontaktu z grzejnikiem.
W procesie pakowania ta sama platforma umożliwia uzyskanie jednolitych параметrów utwardzania materiałów używanych do pakowania, co skraca czas cyklu produkcji, przy jednoczesnym zachowaniu odporności i niezawodności produktu. Zużycie energii również jest mniejsze, ponieważ ciepło trafia bezpośrednio do procesu, a nie do dużych pojemników.
Warto zaznaczyć, że te grzejniki są dostosowane do konkretnego sprzętu. Geometria komory, sposób mocowania oraz położenie czujników mają kluczowe znaczenie. Proces konfiguracji urządzenia jest szybki, a aby uzyskać stabilne parametry, potrzeba czystego, suchego powietrza. Ważne jest również dostosowanie wydatku energetycznego do specyfiki materiału, który jest obrabiany – dostarczamy dane niezbędne do dostosowania współczynników emisji i odbicia światła dla poszczególnych procesów.