На производственном участке даже небольшое изменение температуры во время процедуры сушки полупроводниковых пластин на 1°C может привести к потере всей партии продукции. Чтобы избежать этой проблемы, мы разработали специальные инфракрасные обогреватели. Они обеспечивают точный контроль температуры на уровне отдельных пластин во время их сушки, обработки фотополимерами, упаковки и последующей сушки после очистки.
Что имеет значение при работе обогревателей
Основой работы обогревателей является инфракрасное излучение с специальной спектральной составляющей; это позволяет нагревать поверхность пластины напрямую, без использования жидкостей и без риска загрязнения. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0.1°C, а точность повторяемости процесса — ±0.5°C. Время реакции обогревателя составляет менее двух секунд, что позволяет поддерживать стабильную температуру. Для создания чистой среды необходимы кварцевые/керамические компоненты, материалы без выделения газов, а также конструкция, предотвращающая появление частиц. Эти обогреватели предназначены для круглосуточной работы; срок их службы составляет десятки тысяч часов. Также имеются модули, которые позволяют минимизировать периоды простоя.
В процессе литографии процедуры сушки фотополимеров играют ключевую роль в контроле размеров элементов микросхем. Наши обогреватели позволяют сохранять оптимальную температуру фотополимера, что снижает расхождения в ширине линий и повышает качество продукции. При сушке пластин и после очистки быстрый и равномерный нагрев помогает избежать появления следов и водяных пятен на поверхности пластины — при этом не требуется какого-либо контакта с поверхностью.
При упаковке эти обогреватели обеспечивают однородный процесс затвердевания материалов, что сокращает время обработки при сохранении прочности и надежности изделий. Также снижается потребление энергии, поскольку тепло поступает непосредственно в процесс, а не в всю камеру.
Важно отметить, что эти обогреватели разрабатываются с учетом особенностей вашего оборудования. Геометрия камеры, тип крепления и расположение датчиков также имеют большое значение. Настройка обогревателей происходит быстро; для этого необходимо использовать чистый и сухой воздух. Критически важно соответствие спектрального излучения параметрам вашего материала; мы предоставляем данные для настройки эмиссии и отражаемости света для каждого процесса.