На этапе литографии существует один важный фактор: даже небольшое отклонение температуры в полумиллиградуса может привести к смещению профиля...

Вы знаете ситуацию на поду для обработки пластин: камера для снятия фоторезиста простаивает, потому что нагреватель поддержки отклонился от заданной...