วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นซิลิคอนให้ดีเยี่ยม: ความจริงเกี่ยวกับการใช้ความร้อนแบบ IR
หากคุณทำงานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันเป็นเรื่องน่ากังวลมากแค่ไหน แค่มีฝุ่นเพียงเล็กน้อย หรือมีก๊าซบางชนิดรั่วออกมาจากชิ้นส่วนต่างๆ ก็อาจทำให้ชิ้นงานทั้งหมดของคุณเสียหายได้
เมื่อพูดถึงการใช้ความร้อนกับแผ่นซิลิคอน คุณไม่สามารถใช้หลอดไฟธรรมดาได้เลย นั่นเป็นเหตุผลที่เราเลือกใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับหลอดไฟ IR นี่คือวิธีเดียวที่จะทำให้มั่นใจได้ว่าจะไม่มีสิ่งสกปรกใดๆ มาปนเปื้อนกับชิ้นงานของคุณ
เหตุใดควอตซ์จึงมีความสำคัญ
ควอตซ์ธรรมดานั้นไม่ได้บริสุทธิ์จริงๆ เพราะมีสิ่งปนเปื้อนอยู่ ซึ่งเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น สิ่งปนเปื้อนเหล่านี้ก็จะกลายเป็นไอ นั่นคือปัญหาที่อาจเกิดขึ้นได้ในช่วงการเริ่มต้นการผลิต
เราจึงเลือกใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อป้องกันปัญหาดังกล่าว ลองนึกภาพว่าท่อควอตซ์เป็นฟองอากาศที่ปิดสนิท ซึ่งจะช่วยให้ไส้หลอดทังสเตนอยู่ในสภาพที่ดี และไม่สัมผัสกับอากาศภายในห้องปลอดฝุ่นเลย
การปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม
คุณต้องการให้อุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นซิลิคอนเท่ากัน ไม่มีจุดที่ร้อนเกินไป หรือจุดที่เย็นเกินไป
เราเลือกใช้หลอดไฟ IR ที่มีความถี่คลื่นสั้น เพื่อให้ความร้อนเข้าสู่แผ่นซิลิคอนได้อย่างรวดเร็ว แทนที่จะทำให้ผนังของห้องปลอดภัยร้อนขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้ เนื่องจากเราใช้ไส้หลอดที่มีความหนาแน่นสูง หลอดไฟจึงสามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็วเมื่อมีการปรับแรงดันไฟฟ้า
แต่ก็มีข้อควรระวังด้วย: ควรระวังกระแสไฟฟ้าที่ลดลง หากคุณเชื่อมต่อหลอดไฟเหล่านี้เข้าด้วยกันเป็นลำดับยาวๆ ความต้านทานอาจสูงขึ้น ทำให้บางส่วนของแผ่นซิลิคอนเย็นกว่าส่วนอื่นๆ ผมแนะนำให้ใช้แหล่งจ่ายไฟแบบเฉพาะสำหรับหลอดไฟเหล่านี้ นี่คือวิธีที่ดีที่สุดในการรักษาแรงดันไฟฟ้าให้คงที่สำหรับหลอดไฟทุกตัวในชุดนั้น
ความเป็นจริงเมื่อเชื่อมต่อหลอดไฟเข้ากับอุปกรณ์
หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้สามารถเชื่อมต่อเข้ากับอุปกรณ์สำหรับผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ได้โดยไม่มีปัญหา แต่อย่าลืมเรื่องการระบายความร้อนด้วย
หลอดไฟเหล่านี้สร้างความร้อนขึ้นมากมายในพื้นที่ขนาดเล็ก หากกระแสอากาศไม่ดี ก็จะทำให้ความร้อนสะสมมากเกินไป ซึ่งอาจทำให้หลอดไฟเสียหายได้ง่ายๆ
ดังนั้น ควรรักษาความสะอาดของตัวเชื่อมต่อให้ดี และตรวจสอบให้แน่ใจว่าการปิดผนึกนั้นสมบูรณ์ และความดันสุญญากาศก็ควรอยู่ในระดับที่เหมาะสมเสมอ