บนพื้นโรงงาน โปรไฟล์ความร้อนของห้อง sputtering ไม่ใช่สิ่งที่ตั้งค่าแล้วปล่อยทิ้งไว้ มันเป็นตัวกำหนดการกระจายความหนาฟิล์ม ความเค้น และอัตราผลผลิตแบบเรียลไทม์ การลอยของอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาสามารถเปลี่ยนอัตราการตกตะกอนจนทำให้อุปกรณ์หลุดจากสเปคได้
เราออกแบบฮีตเตอร์สำหรับกระบวนการ sputtering เซมิคอนดักเตอร์โดยยึดตามข้อเท็จจริงนี้ กระบวนการไม่ยอมรับการประมาณค่า และเราก็เช่นกัน
สิ่งที่สำคัญภายใต้ฝาครอบ
เราเลือกใช้องค์ประกอบอินฟราเรดคลื่นสั้นในดีไซน์ที่ใช้ควอตซ์เพื่อควบคุมการปล่อยก๊าซและหลีกเลี่ยงการสร้างอนุภาคในระหว่างการทำความร้อนและเย็น คุณจะได้ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วบริเวณเป้าหมาย และความเสถียรของเซตพอยต์ที่คงที่แม้โหลดจะเปลี่ยน
ระบบรองรับสภาพแวดล้อมห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 โดยมีรอยต่อติดตั้งแบบปิดผนึกและพื้นผิวควบคุมที่ลดจำนวนอนุภาคได้ต่ำ ตัวเลขความสามารถทำซ้ำได้คือการฟื้นตัวของอุณหภูมิภายใน 3 วินาทีหลังเปิด-ปิดประตู และการลอยตัวระยะยาวต่ำกว่า 0.2°C ในช่วง 24 ชั่วโมง การจ่ายไฟสามารถกำหนดค่าได้ตามแรงดันมาตรฐานและขนาดรูปร่าง พร้อมคอนเนคเตอร์ที่เข้ากันกับอินเทอร์เฟซของเครื่องมือเพื่อการติดตั้งที่ง่าย
เหตุผลที่การควบคุมความร้อนเป็นตัวควบคุมหลัก
ในกระบวนการ sputtering อุณหภูมิของวัสดุรองรับมีผลต่อโครงสร้างเม็ดผลึก การยึดเกาะ และความเค้น การรักษางบประมาณความร้อนให้คงที่จึงเท่ากับการรักษาคุณภาพฟิล์ม ผลที่ได้คือลดของเสียและงานซ่อมที่เกี่ยวข้องกับความแปรปรวน
คุณจะเห็นการกระจายที่เข้มงวดมากขึ้นในล็อต จำนวนความผิดพลาดระหว่างการเพิ่มอุณหภูมิลดลง และประสิทธิภาพที่ไม่ลอยตัวระหว่างกะ การเชื่อมต่ออินฟราเรดที่มีประสิทธิภาพช่วยรักษาการใช้พลังงานให้เหมาะสมโดยไม่ชะลอความเร็วการผลิต การออกแบบสามารถทำงานได้ตลอด 24/7 พร้อมช่วงเวลาบำรุงรักษาที่วางแผนไว้ ทำให้เวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดลดลงให้น้อยที่สุด
สิ่งที่ต้องสังเกตเมื่อทำการติดตั้ง
การจัดแนวให้ตรงกับรูปทรงของห้องและการจับคู่โหลดความร้อนมีความสำคัญ อุปกรณ์จับยึดที่ไม่ตรงกันหรือเส้นทางจ่ายไฟที่มีขนาดเล็กกว่าจะกระทบต่อความสม่ำเสมอ ฮีตเตอร์จะทำงานได้ตามสเปคก็ต่อเมื่อโปรไฟล์การปั๊มลดแรงดันในห้องและการไหลของก๊าซมีความเสถียร
วางแผนการทดสอบการติดตั้งระยะสั้นเพื่อปรับแต่ง PID และตรวจสอบความสัมพันธ์ระหว่างเซตพอยต์กับเวเฟอร์ เมื่อปรับแต่งแล้ว ระบบจะให้ผลลัพธ์ที่ทำซ้ำได้โดยต้องปรับแต่งน้อยที่สุดเท่าที่เป็นไปได้