Üretim alanında, yumuşak pişirme işlemindeki 1°C’lik bir değişiklik bile tüm yonga partisini boşa çıkarabilir. Bu riski ortadan kaldırmak için özel infraruj ısıtıcılar geliştirdik. Bunlar, yongaların kurutulması, fotoresistlerin pişirilmesi, paketleme süreçleri ve temizlik sonrası kurutma işlemlerinde tekrarlanabilir ve hassas bir ısı kontrolü sağlar.
Önemli olan şeyler
Bu ısıtıcıların temel özelliği, özel olarak tasarlanmış spektral profiline sahip olmasıdır. Böylece hedef nesne doğrudan ısınır; herhangi bir banyo veya kirlenme olmaz. Yonga yüzeyindeki sıcaklık uniformitesi ±0.1°C civarındadır ve her bir işlem arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0.5°C civarındadır. Tepki süresi iki saniyenin altındadır; bu sayede kontrol sistemi sürekli olarak etkin kalır. Kuvars/kseramik malzemeler kullanılarak, gaz salınımı olmayan yapılar oluşturulmuş ve parçacık üretimi en aza indirgenmiştir. Bu cihazlar 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; MTBF değeri on binlerce saat civarındadır ve planlanmayan duruşları azaltmak için değiştirilebilir modüller bulunmaktadır.
Litografide, yumuşak ve sert pişirme işlemleri, kritik boyut kontrolleri açısından çok önemlidir. Bizim ısıtıcılarımız, fotoresistlerin ısıl durumunu sabitler; bu da hat genişliği varyasyonlarını azaltır ve verimliliği artırır. Yonga kurutma ve temizlik sonrası kurutma işlemlerinde ise hızlı ve eşit bir ısıtma sayesinde yüzeyde lekeler ve izler oluşmaz – temas gerektirmez.
Paketleme süreçlerinde de aynı platform, kaplamalar ve dolgu maddeleri için tutarlı bir kuruma süreci sağlar; böylece işlem süresi kısalırken yapışma gücü ve güvenilirlik korunur. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü ısı doğrudan işleme yönlendirilir, büyük bir odanın içine değil.
Önemli olan bir diğer nokta ise, bu ısıtıcıların sizin ekipmanlarınıza göre özel olarak tasarlanmasıdır. Odanın geometrisi, klips tipi ve sensör yerleşimi gibi faktörler önemlidir. Kurulum işlemi hızlıdır ve ayarların sabit kalabilmesi için temiz ve kuru hava gereklidir. Spektral çıkışın substratınıza uyumlu olması çok önemlidir; her bir işlem için emisyon ve yansıtma değerlerini ayarlamak üzere gerekli verileri sağlıyoruz.