Hat üzerinde süreci bilirsiniz: ±0.5°C’lik bir soft bake sapması ve doğrudan rezist üzerine basılan hat kalınlığı hatası. Fırın çok yavaş, hotplate...

Out on the fab floor, nasıl ilerlediğini bilirsiniz. Fotoresist pişirme sırasında 0.5°C’lik bir sapma, kritik ölçülerin kaymasına yol açar. Hat...