Сушіння після процедуриCMP є однією з причин зниження якості продукції на виробничому майданчику. Сліди води, мікросколи та повторне осідання частинок – все це наслідок нестабільної температури та нерівномірного теплового профілю. Пристрій для сушіння післяCMP не може просто подавати теплий повітря – він повинен забезпечувати стабільний контроль температури на рівні кожної пластинки, щоб усі процеси відбувалися в заданих параметрах.
Що є важливим у цьому пристрої
Ми створили пристрій для сушіння, використовуючи елементи нагріву з швидкою реакцією та сенсори високої точності. Це дозволяє зберігати однорідність температури на рівні ±0,1°C. Алгоритм керування компенсує зміни теплового навантаження – коли змінюється положення пластинки, відкривається/закривається дверцята чи змінюється потік газу. Це дозволяє зберігати стабільну температуру по всій поверхні пластинки. Пристрій також сумісний із умовами чистої кімнати: матеріали та ущільнювачі призначені для використання в класах 1–100, а поверхні оброблені так, щоб мінімізувати утворення частинок. Постійна точність роботи пристрою забезпечує відсутність непланових перерв у роботі.
Чому це важливо після процедуриCMP
Відразу після процедуриCMP поверхня пластинки є хімічно активною та механічно чутливою. Стабільна температура допомагає уникнути ослаблення фоточутливого шару та зберегти цілісність візерунка під час сушіння. Однорідний розподіл температури також допомагає уникнути утворення „гарячих точок“, які можуть спричинити появу слідів на поверхні пластинки.
Результатом є менша кількість дефектів, менша кількість необхідностей у повторній обробці, а також стабільні часи виконання процедур. Витрати енергії зменшуються, оскільки система швидко досягає заданої температури та підтримує її без перевищень. Також збільшується термін служби компонентів, оскільки вони працюють в межах своїх термічних параметрів.
Що потрібно враховувати під час планування
Під час встановлення необхідно врахувати розташування обладнання, поставку газу та відведення відпрацьованих газів. Потрібно також контролювати параметри потоку повітря та температури, щоб вони відповідали параметрам процедуриCMP та хімічних реагентів, які використовуються під час її виконання. Сенсори та оптичні елементи потрібно регулярно калібрувати, щоб зберігати однорідність температури на рівні ±0,1°C. Це є найнадійнішим способом зберегти стабільність якості продукції з часом.