Як зберегти ваші кристали бездоганно чистими: правда про інфрачервоне нагрівання
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, що може статися. Одна дрібна частинка пилу чи якийсь газ, який витікає з компонентів – і все, ваш весь виробничий запас стає непридатним для використання.
Що стосується нагрівання кремнієвих пластин, то не можна використовувати будь-яку лампу. Саме тому ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти для наших інфрачервоних ламп. Це єдиний спосіб гарантувати, що ніщо не потрапить на поверхню пластини під час нагрівання.
Чому кварц насправді має значення
Стандартний кварц насправді не є „чистим“. У ньому є домішки, які починають паруватися при підвищенні температури. Це може призвести до серйозних проблем під час процесу нагрівання.
Ми використовуємо кварц високої чистоти саме для того, щоб уникнути такого ефекту. Уявіть собі кварцову трубку як щільну, вакуумно-запечатану капсулу. Це дозволяє утримувати вольфрамову нитку в закритому стані, щоб вона не мала контакту з повітрям у чистій кімнаті.
Як досягти оптимальної температури
Необхідно, щоб температура була однаковою по всій поверхні пластини. Не повинно бути жодних гарячих чи холодних зон.
Ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Це означає, що тепло швидко потрапляє прямо на поверхню пластини, а не лише нагріває стінки камери. Крім того, завдяки високоякісним ниткам лампи реагують майже миттєво на зміни потужності, які встановлює контролер PID.
Але треба пам’ятати про напругу. Якщо лампи підключені в довгу послідовність, опір може призвести до того, що деякі частини пластини будуть холоднішими за інші. Рекомендую використовувати спеціальні джерела живлення. Це найкращий спосіб забезпечити стабільну потужність для кожної лампи.
Реальність підключення ламп
Ці лампи розроблені так, щоб їх можна було легко підключити до вашого обладнання для обробки напівпровідників. Але не забувайте про систему охолодження.
Ці лампи виділяють багато тепла в маленькому просторі. Якщо потік повітря слабкий, це може призвести до перегріву кварцових елементів. Це швидкий шлях до їх поломки.
Просто підтримуйте чистоту кабелів, переконайтеся, що ущільнення є щільними, а рівень вакууму залишається на необхідному рівні.