На лінії ви знаєте, як це відбувається: м’яка випічка з дрейфом ±0,5°C, і ви отримуєте помилку ширини лінії прямо у резисті. Печі занадто...

Out on the fab floor, you know how it goes. A 0.5°C drift during photoresist bake and your critical dimensions start to wander. The line stops. We...