لیتھوگرافی کے عمل میں، آپ جانتے ہی ہیں کہ کیا ہوتا ہے۔ اگر بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں آدھا ڈگری کا فرق پڑ جائے، تو اس سے کرٹیکل ڈائمینشنز میں نینومیٹر کی سطح پر تبدیلی آ جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں ویفروں کی سطح پر خرابیاں پیدا ہو جاتی ہیں، اور آخر کار ہمیں بیکار ویفر ہی ملتے ہیں۔ ہم نے اپنے فوٹو ریزسٹ کو ٹھیک رکھنے کے لئے انفراریڈ لیمپ استعمال کئے ہیں، تاکہ درجہ حرارت میں کوئی تغیر نہ آئے، چاہے یہ تغیر PM ونڈوز کے دوران بھی ہو۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے کوارٹز اینویلپمنٹ والے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں۔ حرارت براہِ راست فوٹو ریزسٹ کی تہہ میں جاتی ہے، بغیر کیریئر کو گرم کیے۔ اس طرح ویفروں کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ یہ سسٹم بالکل صاف رہتا ہے – کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جو کہ کلین روم کلاس 1–100 کے لئے بہترین ہے۔ یہ سسٹم معیاری SEMI انٹرفیسز سے جڑتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک اس سسٹم سے مستقل طور پر اچھا پرفارمنس حاصل کیا جا سکتا ہے، اور انٹینسٹی میں 5% سے کم کمی ہوتی ہے۔
فوٹو ریزسٹ کی پروسیسنگ میں درجہ حرارت کو کنٹرول کرنا بہت اہم ہے۔ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کو جلدی سے ہدف تک پہنچانا ضروری ہے، پھر اسے مستقل رکھنا ضروری ہے۔ ہمارے لیمپس درجہ حرارت کو چند سیکنڈوں میں ہی کنٹرول کر لیتے ہیں، اس طرح زیادہ تیز رفتار سے کام کیا جا سکتا ہے، بغیر زیادہ توانائی کے استعمال کے۔
یہی درجہ حرارتی پروفائل ہر بیچ میں، ہر لاٹ میں دہرایا جاتا ہے۔ یہی وجہ ہے کہ CD کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور پروڈکشن کی شرح بھی درست رہتی ہے۔ 7×24 گھنٹوں کے عمل میں، ڈیزائن کی وجہ سے کوئی غیرمتوقع تعطل پیدا نہیں ہوتا، اور مرمت کا کام بھی منصوبے کے مطابق ہی ہوتا ہے۔
کچھ باتیں جن کو ذہن میں رکھنا ضروری ہے: انسٹالیشن تو آسان ہے، لیکن ویفر کی سطح کے ساتھ الائنمنٹ اور ایمیٹر سے سبسٹریٹ کے درمیان فاصلے کو بہت ہی درست حدود میں رکھنا ضروری ہے۔ اگر ایسا نہ ہو، تو یکسانیت میں خرابی پیدا ہو جاتی ہے۔
لیمپ کی سطح بہت گرم ہوتی ہے، اس لئے حرارتی عایق اور انٹرلاک سسٹم ضروری ہیں۔ اور ایمیٹر کے سپیکٹرم کو فوٹو ریزسٹ کے ابسورپشن بینڈ سے میل کھانا بھی ضروری ہے – مختلف ریزسٹس کے لئے مختلف NIR پروفائلز کی ضرورت ہوتی ہے، اس لئے ہم سسٹم کو اسی حساب سے ڈیزائن کرتے ہیں۔