Tại sao chúng ta sử dụng bề mặt phản chiếu được phủ vàng trong quy trình xử lý wafer? Hãy thành thật mà nói: việc lãng phí năng lượng trong các thiết bị bán dẫn chính là dấu hiệu của một thiết kế kém. Khi máy sưởi được bật lên, một lượng lớn năng lượng hồng ngoại thường bị phản xạ lại hoặc rò rỉ ra ngoài. Đó là sự lãng phí. Chính vì vậy chúng ta mới sử dụng lớp phủ vàng trên các bề mặt phản chiếu. Lớp phủ này giúp ngăn chặn sự rò rỉ năng lượng.
Đặc tính phản chiếu của vàng Vàng được sử dụng không phải để khiến máy trở nên đẹp hơn, mà vì những đặc tính vật lý của nó. Vàng có khả năng phản chiếu tốt ánh sáng hồng ngoại tần số cao. Trong khi nhôm thông thường bắt đầu mất khả năng phản chiếu khi nhiệt độ tăng cao, thì vàng vẫn duy trì khả năng phản chiếu ổn định. Điều này có nghĩa là gần như toàn bộ năng lượng từ bộ phận sưởi đều được truyền vào wafer.
Nhờ vậy, việc kiểm soát nhiệt độ trở nên dễ dàng hơn. Và vì năng lượng được chuyển đến đúng nơi cần thiết, chúng ta không cần phải tăng công suất sưởi quá cao để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Vấn đề liên quan đến dây điện và sự tích tụ nhiệt Khi xử lý loại năng lượng này, dây điện cũng cần phải chịu được áp lực cao. Chúng ta sử dụng dây điện được cách điện bằng Teflon vì lý do đơn giản: chúng không bị nóng chảy. Chúng có thể chịu được nhiệt độ cực cao mà không tạo ra chất độc hại. Nếu lớp cách điện bị hỏng, chất bẩn sẽ bám vào wafer, và đó là điều tồi tệ mà chúng ta không muốn xảy ra.
Nhưng có một điều cần lưu ý: chúng ta cần kiểm soát tốt mức nhiệt độ. Vì bề mặt phản chiếu bằng vàng rất hiệu quả, nên chúng tạo ra một lượng lớn nhiệt trên wafer. Nếu hệ thống làm mát không đủ khả năng xử lý sự tăng nhiệt độ này, các cảm biến xung quanh có thể bị hỏng.
Lưu ý về việc bảo trì Vàng là vật liệu tốt nhất cho mục đích này, nhưng nó rất mềm. Nếu đội ngũ bảo trì sử dụng các miếng chà mài mòn để làm sạch, chúng sẽ làm trầy xước lớp phủ vàng. Điều này sẽ tạo ra những “vùng lạnh” trên wafer, khiến cho mô hình nhiệt độ trở nên hỗn loạn. Hãy sử dụng phương pháp làm sạch không gây mài mòn. Đó là cách duy nhất để giữ được khả năng phản chiếu ổn định của vàng.
Khi dây điện được đặt đúng vị trí và lớp phủ vẫn còn nguyên vẹn, mọi thứ sẽ hoạt động tốt. Thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn sẽ giảm xuống, và mô hình nhiệt độ trên toàn bộ wafer sẽ ổn định.