Giảm lượng khí carbon trong quy trình rửa và sấy các linh kiện bán dẫn (mà không gây ra những vấn đề phức tạp)
Hãy thành thật mà nói: các giai đoạn rửa và sấy trong các nhà máy sản xuất bán dẫn là những giai đoạn tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Đó chính là nơi mà nhiều năng lượng bị lãng phí. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách giải quyết vấn đề này, và kết quả là chúng tôi tìm ra giải pháp sử dụng đèn hồng ngoại chống nước.
Ngừng việc làm nóng không khí
Điểm yếu của các lò sưởi truyền thống là chúng cố gắng làm nóng toàn bộ không gian bên trong lò. Việc này khiến chúng tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm cho wafer khô đi. Điều này rất kém hiệu quả.
Còn đèn hồng ngoại thì hoạt động khác. Chúng sử dụng bức xạ sóng ngắn để chiếu trực tiếp vào bề mặt wafer. Nhờ đó, bạn không cần phải lo lắng về việc làm nóng toàn bộ hệ thống nữa. Kết quả là lượng năng lượng tiêu thụ giảm đi, quá trình làm khô wafer diễn ra nhanh hơn, và không còn sự lãng phí năng lượng khi hệ thống ở trạng thái chờ nữa.
Đối phó với độ ẩm
Nếu sử dụng ống thủy tinh thông thường trong quy trình rửa, chúng sẽ bị nứt hoặc hỏng. Độ ẩm quá cao khiến chúng không thể hoạt động được.
Vì vậy, chúng tôi đóng kín các bộ phận này lại. Chúng tôi tập trung vào các điểm tiếp xúc giữa các điện cực để ngăn chặn sự xâm nhập của hơi ẩm, bằng cách sử dụng thủy tinh có độ tinh khiết cao và các phụ kiện đảm bảo khả năng chịu đựng hơi nước mà không bị hỏng.
Nhưng cần lưu ý: bạn phải kiểm soát lượng năng lượng được sử dụng. Các bộ đèn hồng ngoại có mật độ cao sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu hệ thống thoát nhiệt không đủ mạnh, các cảm biến và công cụ sẽ bị hỏng. Sự cân bằng là yếu tố quan trọng ở đây.
Tạo ra “nhà máy xanh” thực sự
Khi mọi người nói về “nhà máy xanh”, điều đó thường nghe có vẻ như là khẩu hiệu Marketing. Nhưng trong thực tế, điều quan trọng nhất chính là hiệu quả sử dụng năng lượng.
Một ưu điểm lớn của đèn hồng ngoại là chúng hoạt động ngay lập tức – không cần chờ đợi. Bạn sẽ không còn lãng phí năng lượng trong những khoảng thời gian chờ đợi khi wafer được vận chuyển nữa.
Chúng tôi thấy rằng việc thay thế các bộ sưởi truyền thống bằng các bộ đèn hồng ngoại mang lại hiệu quả rõ rệt. Bạn có thể kiểm soát chính xác nơi mà nhiệt được phân phối. Điều này giúp giảm lượng năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer, từ đó giúp đạt được mục tiêu giảm lượng khí carbon – mà không làm chậm tốc độ sản xuất.