在制造车间，软烘烤和硬烘烤是设定热预算的关键环节，这对控制关键尺寸至关重要。即使在晶圆上滑动温度1.5°C，你的光刻窗口也会开始消失。我们设计了陶瓷红外加热面板，以消除这种不确定性。
技术上重要的事项
它是短波红外线，通过密集的陶瓷基质运行，因此热量快速而准确地作用于所需位置。你可以在活性区域内实现晶圆级的均匀性，±0.1°C，并且即使设定点发生变化，重复性也能保持稳定。其表面在Class 1-100级洁净室中表现良好——无颗粒，无气体释放，无剥落。反应速度足够快，能够跟随动态配方而不发生超调，从而保持热预算的可预测性。
为什么在光刻胶处理过程中表现良好
光刻胶对热斑和冷边非常敏感。陶瓷面板提供一致的热量，使光刻胶均匀固化。这意味着更少的脚印和更少的边缘粗糙度。在实际操作中，你会看到更高的良率和更少的返工批次。
该系统全天候运行，输出稳定，减少了非计划停机时间，并延长了维护间隔。它还具有高效性——按需加热，最小待机损耗——因此在不影响性能的情况下降低了能耗。
安装时需要注意的事项
安装必须精准：机械平整度和与相邻模块的热隔离。如果接口不合适，你将引入温度梯度。规划兼容的夹具，并在集成过程中仔细检查温度传感器的位置。
一旦对齐，面板就能正常工作。但机械接口是你要么实现完整热规格，要么在后期与之斗争的地方。