不锈钢加热器外壳制造

在光刻车间，光刻胶软烤过程中0.5°C的温度漂移不是小误差，而是产量损失。晶圆对热偏差没有容忍度，你的设备也不应如此。我们为晶圆厂设计的不锈钢加热器壳体，正是在温度均匀性、清洁度和运行时间被视为必需而非愿望的环境下构建的。 关键技术细节很直接。 壳体采用不锈钢材质，适配Class 1–100级洁净...