在光刻工艺中，有一个至关重要的原则：如果烘烤温度有半度的偏差，那么光阻层的特性就会受到影响。线宽控制、附着力以及缺陷密度等问题，都取决于能否精确控制温度。我们设计的红外灯组就是为了确保温度的精确控制。 其技术原理其实很简单：短波红外光直接照射到晶圆上，能够快速提升温度，同时保持温度的均匀性。我们选...

你知道晶圆厂的场景：剥离室因支撑加热器偏离设定点0.8℃而闲置。光刻胶残留物依然存在。返工逐渐累积。产量受到影响。 背后的关键 我们围绕一个目标构建了光刻胶剥离支撑加热器——可重复的温度控制。晶圆级均匀性在夹具上保持±0.1℃，确保你的热预算保持紧凑，剥离曲线在不同批次之间不会漂移。 该加热元件采...