晶圆加热的安全距离

防止红外灯损坏晶圆 在大规模半导体生产中，如果红外灯发生故障，那可不仅仅是麻烦或短暂停机的问题——那简直就是一场灾难。 当石英管破裂时，玻璃碎片和卤素气体会直接落在晶圆上。一个坏掉的灯泡就能在几秒钟内毁掉整批晶圆。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况，主要措施就是调整灯泡的形状以及其安装位置。...