真空室红外加热器

如何避免真空室中的“烤箱效应” 如果你曾在半导体工厂工作过，那么你就知道这个问题有多棘手。我们需要让晶圆变热，但又不想让整个真空室变成一个“烤箱”。 传统的加热方式会导致热量向各个方向散发。在真空环境中，这些热量无处可去，只能堆积在真空室的壁面上。这不仅浪费能源，还会使设备表面变得极其烫手，同时密...