光刻胶剥离支撑加热器

你知道晶圆厂的场景：剥离室因支撑加热器偏离设定点0.8℃而闲置。光刻胶残留物依然存在。返工逐渐累积。产量受到影响。 背后的关键 我们围绕一个目标构建了光刻胶剥离支撑加热器——可重复的温度控制。晶圆级均匀性在夹具上保持±0.1℃，确保你的热预算保持紧凑，剥离曲线在不同批次之间不会漂移。 该加热元件采...