最适合用于光刻胶的红外灯

在光刻工艺中，有一个至关重要的原则：如果烘烤温度有半度的偏差，那么光阻层的特性就会受到影响。线宽控制、附着力以及缺陷密度等问题，都取决于能否精确控制温度。我们设计的红外灯组就是为了确保温度的精确控制。 其技术原理其实很简单：短波红外光直接照射到晶圆上，能够快速提升温度，同时保持温度的均匀性。我们选...