标签为“极端”的页面如下 极紫外光刻胶加热器部件 在EUV光刻过程中，光刻胶的烘烤并非仅仅是一个需要完成的热处理步骤而已。实际上，它决定了线条的宽度和缺陷控制水平。哪怕仅有几十分之一的温度偏差，或者有少量颗粒存在，都可能使CD均匀性超标，从而导致大量晶圆报废。我们设计的EUV光刻胶加热器能够有效消除这些变量带来的影响。 真正重要的是，该系统利用短... 阅读更多
极紫外光刻胶加热器部件 在EUV光刻过程中，光刻胶的烘烤并非仅仅是一个需要完成的热处理步骤而已。实际上，它决定了线条的宽度和缺陷控制水平。哪怕仅有几十分之一的温度偏差，或者有少量颗粒存在，都可能使CD均匀性超标，从而导致大量晶圆报废。我们设计的EUV光刻胶加热器能够有效消除这些变量带来的影响。 真正重要的是，该系统利用短... 阅读更多
