半导体溅射加热器

在晶圆厂车间，溅射腔室的热剖面不是设定后就能放任不管的。它实时影响薄膜厚度分布、应力及良率。半度的漂移就足以改变沉积速率，导致器件超出规格范围。 我们为这种现实需求设计了半导体溅射加热器。工艺不允许猜测，我们也如此。 核心要点 我们采用石英基底设计的短波红外元件，以降低脱气并避免热循环过程中产生颗...