半导体激光二极管加热器

在光刻车间，您知道事情是如何进行的。烘烤温度的0.1°C漂移会导致光刻胶轮廓的纳米级变化，而这种变化会在良率表上显现出来。我们制造的半导体激光二极管加热器能够在处理窗口以单数字纳米为单位时保持热稳定性。 内部重要因素 我们使用近红外（NIR）激光二极管加热，配合闭环控制，活跃区域的均匀性保持在...