洁净室烤箱红外加热器

别再加热烤箱的壁面了——直接给晶圆加热吧！ 如果你曾经使用过传统对流式烤箱进行半导体加工，那你就知道其中的弊端了。那种方式是先加热空气，这样一来，整个烤箱的内壁都会变成一个巨大的散热器。这不仅浪费能源，而且对于站在附近的人来说，还存在安全隐患。 我们认为有更好的方法。与其加热整个空间，不如利用定向...