如何避免真空室中的“烤箱效应” 如果你曾在半导体工厂工作过，那么你就知道这个问题有多棘手。我们需要让晶圆变热，但又不想让整个真空室变成一个“烤箱”。 传统的加热方式会导致热量向各个方向散发。在真空环境中，这些热量无处可去，只能堆积在真空室的壁面上。这不仅浪费能源，还会使设备表面变得极其烫手，同时密...

适用于真空环境的红外加热器：高端晶圆加工生产线上的理想选择 我们开发出这种适用于真空环境的红外加热器，目的就是让它在极其严苛的半导体加工环境中依然能够正常工作。同时，它还能提供稳定、高强度的热量，且热量能精确地传递到所需位置。 我们已将这些加热器与国际知名品牌的产品在真实的晶圆加工生产线上进行了对...