用于光刻机的石英玻璃护罩
在含有易挥发化学物质的场所使用红外加热设备时,如何确保安全?
如果您在经营半导体制造厂,那您肯定知道其中的注意事项。红外灯会安装在那些容易与热量产生反应的化学清洁剂旁边。直接使用普通灯泡的话,无疑会带来麻烦。
为了解决这个问题,我们会用特殊的石英玻璃罩将灯泡包裹起来。可以说,这就像一堵“物理屏障...
用于制造红外灯的石英套筒
在光刻工厂中,光阻烘烤步骤是不可或缺的。无论是软烘还是硬烘,温度偏差只要达到0.5摄氏度,就可能会影响光刻工艺的精度。而一旦灯管出现故障,整个生产流程就会被迫停止。我们设计石英套管的目的,就是为了确保设备能够24/7不间断地运行,避免任何意外停机情况。
从技术层面来看,什么是最重要的? 我们使用高...