用于集成电路的紧凑型红外线干燥机

在线上线下，情况就是这样：软烘烤过程中的±0.5°C漂移会直接导致光刻胶线宽偏差。烘箱加热速度太慢，热板占用空间且热预算已被使用完毕。因此，我们开发了一种用于集成电路的紧凑型红外干燥器，从源头上抑制这种温度漂移。 核心技术要点 我们在一体化反射器的石英模组内使用近红外（NIR）发射器，热量能够直接...