超纯度加热灯

避免混乱：解决晶圆加热过程中的颗粒污染问题 在高负荷的生产环境中，如果灯管发生故障，那可不只是个小麻烦或短暂的停机时间而已——那简直就是一场灾难。一旦某个石英管损坏，晶圆表面就会布满玻璃碎片和金属碎屑。这无疑是一场灾难。正因如此，我们才设计了超高纯度加热灯，就是为了在问题发生之前就将其扼杀在萌芽状...