晶圆加热的安全距离
防止红外灯损坏晶圆 在大规模半导体生产中,如果红外灯发生故障,那可不仅仅是麻烦或短暂停机的问题——那简直就是一场灾难。
当石英管破裂时,玻璃碎片和卤素气体会直接落在晶圆上。一个坏掉的灯泡就能在几秒钟内毁掉整批晶圆。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况,主要措施就是调整灯泡的形状以及其安装位置。...
露台取暖器与天花板之间的距离
为什么浴室用的加热器需要防爆石英管? 说实话,浴室对电子设备来说是个“噩梦”般的场所。那里有浓重的蒸汽、持续的潮湿环境,还有剧烈的温度变化。 如果使用普通的红外线灯,那可就危险了。想象一下,一滴冷水落在高达800摄氏度的高温石英管上,玻璃会立刻收缩,然后“砰”的一声,整个石英管就会碎裂。显然,这可...