节能型晶圆加热器

别再浪费能量了：为何金质反射器如此重要 说实话，在半导体加工过程中，浪费能源不仅效率低下，更是设计上的缺陷。 大多数普通的红外加热器都会将能量向各个方向散发出去，其中很大一部分能量被用于加热设备外壳，而非芯片本身。我们认为还有更好的方法——通过使用镀金反射器，我们可以把那些散失的能量重新引导回芯片...