MEMS传感器晶圆干燥加热器

在用化学试剂清洗完MEMS传感器晶圆后，需要对其进行干燥处理，而这需要热量——而且必须尽快提供热量。不过，这里有个问题：如果周围存在易燃或易爆的蒸汽，那么普通的红外灯就不仅仅是一种工具而已，它还可能带来风险。 没人希望实验室里发生火灾。因此，我们采用了特殊的封装技术，将加热元件置于一个安全的区域内...