标签为“Socket”的页面如下 用于晶圆处理设备的红外灯插座 在晶圆加工过程中，即使软烘或硬烘过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸发生变化，还会在蚀刻后留下残留物，进而影响成品率。为此，我们设计了专门的红外灯座，以确保晶圆处理过程中的温度始终处于可控范围内，从而实现循环作业时的稳定性。 重要的是，该灯座与近红外石英灯配合使用，能够将热量直接传递到晶圆... 阅读更多
用于晶圆处理设备的红外灯插座 在晶圆加工过程中，即使软烘或硬烘过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸发生变化，还会在蚀刻后留下残留物，进而影响成品率。为此，我们设计了专门的红外灯座，以确保晶圆处理过程中的温度始终处于可控范围内，从而实现循环作业时的稳定性。 重要的是，该灯座与近红外石英灯配合使用，能够将热量直接传递到晶圆... 阅读更多
