في قاعة التصنيع، يحتوي الرقاقة بقطر 300 مم على آلاف الدوائر الإلكترونية، وكل منها حساس للتغيرات الحرارية. داخل وحدة الطباعة الضوئية، تُستخدم خطوات التسخين المختلفة لضمان الدقة في الأبعاد. إذا لم يتمكن مصدر الأشعة تحت الحمراء من الحفاظ على التوحيد في درجة الحرارة، فإن ذلك سيؤثر على دقة تحديد أبعاد الدوائر الإلكترونية، مما يؤدي إلى انخفاض جودة المنتج النهائي.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ لقد طورنا نظامًا لطلاء الرقاقات بالأشعة تحت الحمراء، بحيث يمكنه الحفاظ على درجة حرارة ثابتة تتراوح بين ±0.1 درجة مئوية، وذلك باستخدام مصادر أشعة تحت حمراء ذات تحكم دقيق في الطيف الضوئي. يتم تكرار نفس النتائج في كل مرة، كما تم التأكد من عدم وجود أي جسيمات في غرف التصنيع من الفئة 1–100. يتم استخدام مواد ذات انبعاثات منخفضة، بالإضافة إلى أنظمة لضمان استمرارية العمل على مدار 24 ساعة دون أي توقفات غير مخطط لها. دقة درجة حرارة التسخين ليست مجرد موضوع نظري، بل يتم قياسها وتسجيلها بدقة.
الشيء المهم هو وجود انضباط في العملية، وليس الاعتماد على التخمينات. يساعد هذا النظام في استقرار درجة الحرارة، مما يضمن بقاء الأبعاد الحرجة ضمن النطاق المطلوب، وبالتالي يقل الهدر في المواد المستخدمة. كما يتحسن وقت الإنتاج، لأن خطوة التسخين لا تحتاج إلى انتظار استقرار درجة الحرارة. كما يقل استهلاك الطاقة، بفضل كفاءة مصادر الأشعة تحت الحمراء والتحكم الدقيق في درجة الحرارة. النتيجة؟ عدد أقل من المواد المهدرة، وعدد أقل من عمليات إعادة التصنيع، بالإضافة إلى خط إنتاج يعمل بدقة عالية.
بالإضافة إلى ذلك، يساعد هذا النظام في الحفاظ على دقة العملية. لا حاجة إلى تتبع التغيرات في درجة الحرارة أو تبرير أي اختلافات في النتائج. العملية تسير بشكل مستقر، والأرقام تظل متسقة.
قبل الموافقة على استخدام هذا النظام، يجب أن تعرف كيفية تركيبه. ستحتاج إلى دائرة طاقة مخصصة ونظام تهوية مناسب لغرف التصنيع. يعمل النظام مع أدوات التثبيت القياسية وواجهات SEMI، لكن يجب أن يتضمن الاختبار الكامل استخدام أنواع معينة من مواد الحماية وخطوات التسخين المناسبة. خطط لفترة تكيف تستمر يومين لضبط الإعدادات والتأكد من دقة النتائج وفقًا لخطة التحكم المحددة.