http://carbon-ir-heater.com/cs/tags/stript%C3%BDz/ Recent content in Striptýz on Pokročilé uhlík infračervená topidla Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/cs/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/cs/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Topné těleso na podporu odstraňování fotorezistu"></p> <h1 id="scéna-na-waferové-podlaze">Scéna na waferové podlaze</h1> <p>Vakuová komora se zastavila, protože topný prvek na podporu odstraňování fotorezistu se odchýlil o 0,8 °C od nastavené hodnoty. Zbytky fotorezistu zůstávají. Opětovné zpracování se hromadí. Výnos klesá.</p> <h2 id="co-je-důležité-uvnitř">Co je důležité uvnitř</h2> <p>Topný prvek na podporu odstraňování fotorezistu jsme postavili kolem jedné věci - opakovatelné řízení teploty. Uniformita na úrovni waferu je ±0,1 °C napříč chuckem, takže váš tepelný rozpočet zůstává těsný a profily odstraňování se mezi šaržemi neposouvají. Prvek využívá krátkovlnnou halogenovou technologii v křemenném uspořádání. To vám poskytuje rychlou odezvu a stabilní emisivitu, takže přetížení zůstává nízké při přechodu mezi sušením a odstraňováním. Kompatibilita s čistými prostory není fráze. Balíček splňuje omezení třídy 1–100, aniž by přidával čá<a href="https://goldisgood.com">stice</a>, a uzavřená geometrie zabraňuje odplyňování, které může zakrýt optiku a kontaminovat wafer.</p>