Wafle on Pokročilé uhlík infračervená topidla

Konformační povlak pro IR na waferu

Sat, 27 Jun 2026 01:36:32 +0800

Na výrobní lince se nachází wafer o velikosti 300 mm, na kterém je několik tisíc čipů. Každý z nich je citlivý na teplotní výkyvy. V prostředí určeném k litografii se pomocí procesů „měkkého“ a „tvrdého“ zahřívání nastavují tolerance rozměrů. Pokud zdroj infračerveného záření nedokáže udržet konzistentnost teploty, dochází ke změnám v šířce linií – což má za následek snížení výtěžnosti výroby.

Co je technicky důležité
Vytvořili jsme systém pro konformní povrchovou úpravu waferů pomocí infračerveného záření, který umožňuje udržení teploty na úrovni ±0,1 °C po celé ploše waferu. K tomu se používají emitory krátkovlnného infračerveného záření s přesnou spektrální kontrolou. Teplotní profil se opakuje při každém cyklu výroby. V prostorách s úrovní čistoty Class 1–100 nevznikají žádné částice. Systém funguje v rámci stávajících zařízení – s oblastmi izolovanými kvarcem, materiály s nízkou emisí a 24/7 spolehlivostí, což zaručuje absence neplánovaných přerušení výroby. Přesnost teploty během procesu zahřívání není jen teoretický pojem – je měřena, zaznamenávána a fixována.

Přizpůsobený infračervený ohřívač pro wafer

Sun, 21 Jun 2026 02:31:34 +0800

V prostorách výroby může nárůst teploty o 1 °C během procesu měkkého sušení zničit celou šarži čipů. Proto jsme vyvinuli speciální infračervené ohřívače, které odstraní tento riziko. Umožňují přesnou kontrolu teploty na úrovni jednotlivých čipů během jejich sušení, zpracování fotoretikátů, vyzravání obalů a sušení po čištění.

Co je důležité uvnitř zařízení
Jádrem ohřívače je nearinfrakové záření s přizpůsobeným spektrálním profilem – to umožňuje přímé ohřívání cílové oblasti bez jakékoli kontaminace. Rozptyl teploty na povrchu čipu zůstává na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je ±0,5 °C. Reakce ohřívače trvá méně než dvě sekundy, takže lze udržet stabilní podmínky během celého procesu. K dosažení čisté pracovní prostředí třídy 1–100 slouží kvartzové/ceramické komponenty, materiály bez uvolňování plynů a konstrukce, která minimalizuje počet částic. Tato zařízení jsou navržena pro nepřetržitou provozní dobu – jejich průměrná doba životnosti je desítky tisíc hodin. Moduly lze také vyměnit, aby se snížily neplánované přestávky.

Ohřívač destiček pro flexibilní elektroniku

Thu, 18 Jun 2026 01:16:41 +0800

Při narušení termálního rozpočtu jsou flexibilní podklady a vrstvy tenkých filmů velmi citlivé. I malé odchylky v teplotě mohou způsobit změny v kritických rozměrech. Pokud se použije vysoká teplota při zpracování, profil fotorezisty, který se snažíme udržet stabilní, začne kolabovat. Nerovnoměrné termální profile umožňují, aby se zbytky čisticích prostředků ulpily na povrchu, a pokud se balení provádí při nízké teplotě, vzniknou mezery, které nelze tolerovat.

Co je důležité Tento ohřívač flexibilních elektronických desek byl navržen pro provozní prostředí, ne pro prezentace. Je potřeba udržet rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C v celé aktivní oblasti – každá deska musí mít stejnou teplotu. Neexistují žádné odchylky od středu k okrajům, žádná „horká místa“, která by mohla způsobit problémy. Ohřívač je kompatibilní s čistými místnostmi tříd 1–100. Povrch ohřívače je navržen tak, aby během provozu nevznikaly žádné částice, takže úroveň kontaminace zůstává na správné úrovni. Parametry zpracování fotorezistu zůstávají konzistentní, protože ovládání je stabilní – teplota se drží nastavené hodnoty bez překročení.