Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Wafern zerstören
In einer Produktionsanlage mit hohem Durchsatz bedeutet eine defekte Infrarotlampe nicht nur Ärger oder zeitweilige Stillstande – es ist ein Albtraum. Wenn ein Quarztubus zerbricht, fallen Glasscherben sowie Halogengas direkt auf die Wafern. Eine einzige defekte Lampe kann ganze Chargen innerhalb von Sekunden zerstören. Wir haben viel Zeit darauf verwendet, herauszufinden, wie man das verhindern kann – vor allem indem wir uns auf die Form der Lampen sowie deren Positionierung konzentriert haben.
Der „goldene Abstand“
Man kann die Lampe einfach nicht direkt neben die Wafer setzen. Man benötigt einen gewissen Sicherheitsabstand. Wir empfehlen in der Regel einen bestimmten Sicherheitsabstand, der von der Leistung der Lampe sowie der erreichten Temperatur abhängt. Warum? Weil sich die Teile bei hoher Temperatur bewegen. Wenn ein Tubus unter extremer Hitze verbogen wird, sorgt dieser Abstand dafür, dass er den Substrat nicht berührt. Natürlich könnte man diesen Abstand verringern, um mehr Wärme abzugeben – doch das ist ein gefährliches Spiel. Schon eine kleine Verformung kann zu physischen Schäden führen. Stellen Sie sicher, dass die Befestigungslemente fest sitzen, damit dieser Abstand erhalten bleibt.
Sauber halten
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz, um Ausgasungen auf ein Minimum zu reduzieren. Zudem finden wir es sinnvoll, zwischen der Lampe und den Wafern einen Schutzschirm aus Quarz zu verwenden. Stellen Sie sich das wie einen „Leibwächter“ vor: Wenn die Lampe kaputtgeht, fängt der Schutzschirm die Trümmer auf – so bleiben die Wafern unbeschädigt. Wir legen auch großen Wert auf eine gute Abdichtung der Elektroden, um Lecks von Halogengasen zu vermeiden. Wenn Sie 24/7 arbeiten, überprüfen Sie unbedingt den Sitz der Anschlüsse. Lockerer Sitz der Anschlüsse führt zu Funkenbildung – und Funken können die Lampen viel schneller zerstören, als es eigentlich nötig wäre.
Leistung vs. Sicherheit
Lampen mit hoher Leistung sind zwar gut, um einen schnellen Betriebsstart zu ermöglichen – doch mehr Leistung bedeutet auch höheren Innendruck. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsspiel: Man muss die Wärmedichte gegen die Kühlkapazität des Gehäuses abwägen. Wenn das Kühlsystem die Wärme nicht aus den Enden der Lampe entfernen kann, wird der Quarz unter Druck gesetzt und letztendlich zerbricht. Wir haben Tabellen erstellt, die die Beziehung zwischen Leistung und Abstand zeigen. Diese helfen Ihnen dabei, den optimalen Bereich zu finden – sodass Sie die benötigte Wärme erhalten, ohne befürchten zu müssen, dass die Lampe kaputtgeht.