In der Fertigungshalle ist die Trocknungsphase des Photoresists nicht optional. Eine Abweichung von 0,5 °C bei der weichen oder harten Trocknung kann dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer beeinträchtigt werden. Zudem führt ein Ausfall einer Lampe dazu, dass die Produktionslinie stillgelegt werden muss. Wir haben unsere Quarzschläuche genau für diese Bedingungen entwickelt – sie ermöglichen einen 24/7-Betrieb ohne unplanmäßige Stillstände.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden hochreinen Quarz, der für eine gute Übertragung von Infrarotstrahlen im Kurz- und Mittelwellenbereich geeignet ist. Dadurch kann die Leistung der Lampe effektiv auf den Photoresist übertragen werden. Die Geometrie der Quarzschläuche ist so gestaltet, dass eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Trocknungsplatte gewährleistet wird. Zudem sorgen die Materialien und die Oberflächenbehandlung dafür, dass die Anzahl der Partikel auch nach wiederholten thermischen Prozessen gering bleibt. Dadurch sind zuverlässige Trocknungsprofile möglich.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie ist die Wiederholbarkeit der Prozesse entscheidend. Die Quarzschläuche halten die Temperatur während der Trocknungsphase konstant, wodurch die Kontrolle über die kritischen Dimensionen der Wafer sowie die Produktqualität gewährleistet werden. Zudem verlängern sie die Lebensdauer der Lampen – dadurch reduzieren sich die Kosten für Wartungsarbeiten und der Bedarf an Ersatzteilen. Mit einer stabilen Leistung und vorhersehbarer Abnutzung kann man mehr Zeit damit verbringen, Wafer herzustellen, statt sich mit Störungen auseinanderzusetzen.
Dinge, die man beachten sollte:
Quarz ist zwar robust, aber er verträgt keine mechanischen Belastungen und ist außerdem empfindlich gegenüber bestimmten Reinigungsmitteln. Behandeln Sie die Quarzschläuche daher mit sauberen, nicht zerstörerischen Werkzeugen. Auch die Anpassung der Lampenanschlüsse und des Montageringes an die Spezifikationen Ihrer Ausrüstung ist wichtig. Für eine zuverlässige Funktion muss der Quarzschlauch optimal auf das Spektrum und die Leistungsdichte der Lampe abgestimmt sein – andernfalls kann dies die Lebensdauer der Lampe verkürzen, selbst wenn der Quarzschlauch selbst intakt ist.