Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen

Thu, 23 Jul 2026 09:46:19 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Erträge ruinieren

In einer hochbelasteten Fertigungseinheit ist ein defekter Lampenstrahler mehr als nur ein Ärgernis – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Stellen Sie sich vor, eine Quarzröhre platzt direkt über einer Siliziumschicht. Dann gibt es überall Glasscherben und chemische Rückstände. Das führt zu einer sofortigen sekundären Kontamination. Dadurch wird nicht nur die Arbeitsgeschwindigkeit reduziert – der Ertrag geht gleichzeitig verloren.

Wir haben unsere Infrarot-Lampen speziell entwickelt, um das zu verhindern.

Infrarotlampe zur Aushärtung des Fotolacks

Thu, 25 Jun 2026 01:31:45 +0800

Auf der Lithografieebene weiß man ja, wie das funktioniert: Ein leichter oder starker Trocknungsprozess kann bereits eine Abweichung von einer halben Gradzahl verursachen – und das führt dazu, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden. Man sieht das sofort: Unregelmäßigkeiten im Belag der Wafer, usw. Dann hat man nur noch nutzlose Wafer vor sich. Wir haben Infrarotlampen entwickelt, die dazu dienen, das thermische Verhalten konstant zu halten – auch während des gesamten Produktionsprozesses.

Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Infrarotstrahler mit schneller Reaktionszeit sowie Quarzkörpern. Die Wärme gelangt direkt in die Schicht des Photoresists, ohne dass der Trägermaterial beschädigt wird. Dadurch wird eine Homogenität von ±0,1°C erreicht – und die Trocknungskurven bleiben innerhalb des gewünschten Bereichs. Das System bleibt sauber – es entstehen keine Partikel, was für Reinräume der Klassen 1–100 ideal ist. Zudem kann das System an Standard-SEMI-Schnittstellen angeschlossen werden. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, mit weniger als 5% Intensitätsabfall.

Heilung on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte

Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen

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