Keramische Endkappe für IR Emitter

Fri, 17 Jul 2026 01:46:12 +0800

Schutz Ihrer Infrarotstrahler in chemischen Umgebungen
Wenn Sie Infrarotheizer in Bereichen einsetzen, in denen chemische Substanzen verarbeitet werden, kennen Sie die Probleme bereits. Es handelt sich dabei um brennbare Lösungsmittel sowie korrosive Dämpfe. In einer solchen Umgebung ist eine einfache, offene Verbindung der Elektroden nicht nur unsicher – sie stellt sogar eine Gefahr dar. Schon eine kleine Funke oder ein undichter Verbindungsstutzen kann zu einem Brand führen.

Wir lösen dieses Problem, indem wir die Elektrodenenden mit speziellen keramischen Abdeckungen umhüllen. Dadurch bleibt die Elektrizität isoliert und kommt nicht in Berührung mit der Luft.

Keramisches Infrarot Heizpaneel

Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800

Auf dem Fertigungsboden

Soft Bake und Hard Bake sind die Punkte, an denen Sie das thermische Budget festlegen, das die Kontrolle der kritischen Dimensionen beeinflusst. Wenn die Temperatur selbst um 1,5 °C über dem Wafer variiert, beginnt Ihr Lithografiefenster zu verschwinden. Wir haben das keramische Infrarotheizpanel entwickelt, um diese Unsicherheit auszuschließen.

Technisch relevant Es handelt sich um kurzwellige Infrarotstrahlung, die durch eine dichte keramische Matrix geleitet wird, sodass die Wärme genau dort ankommt, wo Sie sie benötigen, und das schnell. Sie erhalten eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf Wafer-Ebene innerhalb von ±0,1 °C über dem aktiven Bereich, und die Wiederholgenauigkeit bleibt auch bei Verschiebungen der Sollwerte stabil. Die Oberfläche hält in Reinräumen der Klasse 1–100 stand – partikel- und ausgasungsfrei, kein Abblättern. Die Reaktion ist schnell genug, um dynamische Rezepte ohne Überschwinger zu verfolgen, sodass das thermische Budget vorhersehbar bleibt.

Keramik on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte

Keramische Endkappe für IR Emitter

Keramisches Infrarot Heizpaneel

Auf dem Fertigungsboden