Kristallschlauch für IR Lampe

Wed, 24 Jun 2026 01:09:15 +0800

In der Fertigungshalle ist die Trocknungsphase des Photoresists nicht optional. Eine Abweichung von 0,5 °C bei der weichen oder harten Trocknung kann dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer beeinträchtigt werden. Zudem führt ein Ausfall einer Lampe dazu, dass die Produktionslinie stillgelegt werden muss. Wir haben unsere Quarzschläuche genau für diese Bedingungen entwickelt – sie ermöglichen einen 24/7-Betrieb ohne unplanmäßige Stillstände.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden hochreinen Quarz, der für eine gute Übertragung von Infrarotstrahlen im Kurz- und Mittelwellenbereich geeignet ist. Dadurch kann die Leistung der Lampe effektiv auf den Photoresist übertragen werden. Die Geometrie der Quarzschläuche ist so gestaltet, dass eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Trocknungsplatte gewährleistet wird. Zudem sorgen die Materialien und die Oberflächenbehandlung dafür, dass die Anzahl der Partikel auch nach wiederholten thermischen Prozessen gering bleibt. Dadurch sind zuverlässige Trocknungsprofile möglich.

Kwarts on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte

Kristallschlauch für IR Lampe