Keramisches Infrarot Heizpaneel

Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800

Auf dem Fertigungsboden

Soft Bake und Hard Bake sind die Punkte, an denen Sie das thermische Budget festlegen, das die Kontrolle der kritischen Dimensionen beeinflusst. Wenn die Temperatur selbst um 1,5 °C über dem Wafer variiert, beginnt Ihr Lithografiefenster zu verschwinden. Wir haben das keramische Infrarotheizpanel entwickelt, um diese Unsicherheit auszuschließen.

Technisch relevant Es handelt sich um kurzwellige Infrarotstrahlung, die durch eine dichte keramische Matrix geleitet wird, sodass die Wärme genau dort ankommt, wo Sie sie benötigen, und das schnell. Sie erhalten eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf Wafer-Ebene innerhalb von ±0,1 °C über dem aktiven Bereich, und die Wiederholgenauigkeit bleibt auch bei Verschiebungen der Sollwerte stabil. Die Oberfläche hält in Reinräumen der Klasse 1–100 stand – partikel- und ausgasungsfrei, kein Abblättern. Die Reaktion ist schnell genug, um dynamische Rezepte ohne Überschwinger zu verfolgen, sodass das thermische Budget vorhersehbar bleibt.

Panel on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte

Keramisches Infrarot Heizpaneel

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