http://carbon-ir-heater.com/de/tags/unterst%C3%BCtzung/ Recent content in Unterstützung on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte Hugo de Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/de/posts/photoresist-stripping-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 01:19:42 +0800 http://carbon-ir-heater.com/de/posts/photoresist-stripping-support-heater/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Unterstützungserhitzer für das Abtragen von Fotolack"></p> <p>Sie kennen die Situation auf dem Waferboden: Die Strip-Kammer steht still, weil der Support-Heizer 0,8°C vom Sollwert abweicht. Rückstände von Fotoresist haften. Nacharbeit häuft sich. Die Ausbeute sinkt.</p> <h2 id="was-unter-der-haube-zählt">Was unter der Haube zählt</h2> <p>Wir haben den Fotoresist-Stripping-Support-Heizer auf eine Sache ausgelegt – reproduzierbare Temperaturregelung. Die Wafer-Uniformität bleibt bei ±0,1°C über den gesamten Chuck, sodass Ihr thermisches Budget eng bleibt und Strip-Profile zwischen den Chargen nicht schwanken.</p> <p>Das Element verwendet kurzwellige Halogenstrahler in einer Quarzbaugruppe. Das sorgt für schnelle Reaktionszeiten und stabile Emissivität, wodurch Überschwinger beim Übergang zwischen Bake und Strip gering bleiben.</p>