Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 17 Jul 2026 01:53:20 +0800

Verhinderung des „Ofeneffekts“ in Vakuumkammern
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, kennen Sie dieses Problem. Man muss die Wafer auf Temperatur bringen – doch man möchte nicht, dass die gesamte Vakuumkammer zu einem Ofen wird.

Bei der herkömmlichen Beheizung strahlt die Wärme in alle Richtungen ab. Im Vakuum hat diese Energie keinen Weg, außer in die Wände der Kammer. Das führt zu Problemen: Die Gehäuse teilen werden gefährlich heiß, und die Dichtungen leiden unter dem thermischen Stress. Es handelt sich dabei um verschwendete Energie.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Sun, 05 Jul 2026 05:58:08 +0800

Vakuumkompatible Infrarotheizer: Die echte Lösung für hochwertige Wafernherstellungsanlagen
Wir haben diese vakuumkompatiblen Infrarotheizer aus einem bestimmten Grund entwickelt: um in der extremen Umgebung der fortschrittlichen Halbleiterverarbeitung zu funktionieren. Zudem sollen sie eine konstante, hohe Wärmestärke liefern – genau dort, wo sie benötigt wird.

Wir haben unsere Geräte direkt mit den Produkten großer internationaler Marken verglichen – und zwar in echten Wafernherstellungsanlagen. Die Zahlen sprechen für sich.

Kraft, Spannung und Größe – das Wichtige im Überblick
Der Kern des Heizers besteht aus einem 300-mm-Quartstift. Seine Größe ermöglicht es ihm, problemlos in Standardwerkzeuge einzubaut werden – sodass keine Umbauten erforderlich sind.

Vakuum on Fortschrittliche Kohlefaser Infrarot-Heizgeräte

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer