Impida que las lámparas infrarrojas dañen sus obleas
En una planta de semiconductores de alto volumen, un fallo en la lámpara infrarroja no es solo un problema molesto o una interrupción temporal en el proceso de producción. Es realmente un desastre.
Cuando un tubo de cuarzo se rompe, los fragmentos de vidrio y el gas halógeno caen directamente sobre las obleas. Una sola lámpara defectuosa puede destruir todo un lote en cuestión de segundos. Hemos invertido mucho tiempo en encontrar formas de evitar que esto ocurra, principalmente enfocándonos en la forma en que están diseñadas las lámparas y dónde se colocan.
El “espacio seguro”
No se puede colocar la lámpara directamente contra la oblea. Se necesita un poco de espacio entre ellas.
Por lo general, recomendamos una distancia de seguridad específica, dependiendo de la potencia que se utiliza y de la temperatura alcanzada. ¿Por qué? Porque los objetos se deforman cuando se calientan. Si el tubo se deforma debido al calor extremo, ese espacio asegura que no toque el sustrato.
Claro, podrían reducir ese espacio para obtener más flujo de calor, pero eso sería muy peligroso. Un pequeño cambio en la forma del tubo podría causar daños físicos. Asegúrese de que los soportes de montaje estén bien fijados para mantener esa distancia estable.
Mantener todo limpio
Utilizamos cuarzo sintético de alta pureza para minimizar las emisiones gaseosas. Pero también consideramos sensato utilizar un escudo de cuarzo entre la lámpara y las obleas.
Piénselo como un “guardián”. Si la lámpara falla, el escudo evita que los fragmentos de vidrio dañen las obleas.
También nos esforzamos por mejorar los sellos en los electrodos, para evitar fugas de halógeno. Y si opera las 24 horas del día, hágase un favor: revise la tensión de los conectores. Las conexiones flojas causan arcos eléctricos, y estos pueden destruir las lámparas mucho más rápido de lo normal.
Potencia versus tranquilidad
Las lámparas de alta potencia son ideales para acelerar el proceso de producción. Pero más potencia significa mayor presión interna.
Es necesario equilibrar la densidad de calor con la capacidad del sistema de refrigeración para disiparlo. Si el sistema de refrigeración no puede eliminar el calor de los extremos de la lámpara, el cuarzo se deforma y eventualmente se agrieta.
Hemos preparado tablas que relacionan la potencia con la distancia adecuada. Son bastante simples y ayudan a encontrar el punto óptimo donde se obtiene el calor necesario, sin preocuparse por posibles fallos.