Reducir las emisiones de carbono en las líneas de enjuague de semiconductores (sin complicaciones)
Seamos honestos: las etapas de enjuague y secado en las fábricas de semiconductores son consumidoras enormes de energía. Es allí donde se gasta mucha energía innecesariamente. Hemos dedicado mucho tiempo a encontrar soluciones para esto, y la respuesta fue el uso de lámparas infrarrojas resistentes al agua.
Estas lámparas están diseñadas específicamente para aquellos ambientes húmedos y saturados de vapor de agua, donde los equipos normales no funcionan adecuadamente.
Dejar de calentar el aire
El problema con los hornos convencionales es que intentan calentar todo el espacio. Se desperdicia mucha energía simplemente para calentar toda la cámara con el fin de secar las obleas. Es ineficiente.
Nuestras lámparas infrarrojas funcionan de manera diferente. Utilizan radiación de ondas cortas para calentar directamente la superficie de las obleas. De este modo, no hay necesidad de luchar contra la masa térmica del sistema. Como resultado, se reduce el consumo de energía. Además, se acelera el proceso de secado y se evita el desperdicio de energía cuando el sistema está en estado de reposo.
Lidiar con la humedad
Si se utiliza un tubo de cuarzo estándar en las etapas de enjuague, este se romperá o dejará de funcionar. La humedad es demasiado agresiva.
Por eso sellamos estas unidades herméticamente. Nos concentramos en las interfaces eléctricas para evitar que entre humedad, utilizando cuarzo de alta pureza y sellos que puedan resistir el vapor de agua sin deteriorarse.
Pero hay algo importante que tener en cuenta: hay que controlar la potencia de las lámparas. Un array infrarrojo de alta densidad genera una gran cantidad de calor. Si el sistema de ventilación no es lo suficientemente eficaz para eliminar ese calor, los sensores y herramientas podrían dañarse. El equilibrio es clave aquí.
Hacer que las “fábricas verdes” funcionen realmente
Cuando hablan de “fábricas verdes”, a menudo suena como mera publicidad. Pero en la práctica, se trata simplemente de eficiencia.
Una de las ventajas de las lámparas infrarrojas es que funcionan de forma instantánea: se encienden y se apagan al instante, sin necesidad de esperar. Así, se evita el desperdicio de kilovatios durante esos intervalos en los que las obleas se transportan.
Vemos los mejores resultados cuando los ingenieros reemplazan esos antiguos calentadores térmicos por arrays infrarrojos. De esta manera, se puede controlar exactamente dónde va el calor. Esto reduce el consumo total de energía por oblea, lo que ayuda a alcanzar las metas de reducción de carbono, sin reducir la velocidad de producción.