http://carbon-ir-heater.com/fa/tags/%D9%81%D8%B1%D8%A7%D8%A8%D9%86%D9%81%D8%B4/ Recent content in فرابنفش on پیشرفته کربن گرم‌کن‌های مادون قرمز Hugo fa Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="قطعات گرمکن مقاومت نور فرابنفش اکستریم (EUV)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی EUV، مرحله گرم کردن رزیست نه تنها یک مرحله حرارتی ساده است، بلکه در این مرحله است که کنترل عرض خطوط و کیفیت قطعات تعیین می‌شود. حتی تغییرات جزئی در دما، یا وجود ذرات کوچک، می‌تواند باعث اختلال در یکنواختی CD شده و منجر به از بین رفتن تعداد زیادی از ویفرها شود. ما قطعات گرمکن رزیست EUV را طوری طراحی کرده‌ایم که این نوسانات را از بین ببرند.</p> <p>آنچه واقعاً اهمیت دارد، استفاده از ساطع‌کننده‌های مادون قرمز با طول موج کوتاه و متوسط است؛ این ساطع‌کننده‌ها با خواص جذب رزیست هماهنگ هستند، بنابراین پروفایل حرارتی در سراسر ویفر یکنواخت باقی می‌ماند. یکنواختی دما در منطقه فعال، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز حفظ می‌شود. این سیستم از کوارتز و هالوژن برای ساختارش استفاده می‌کند؛ در شرایط اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰، هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود. این سیستم می‌تواند به طور مداوم کار کند، بدون هیچ توقف غیرمنتظره‌ای، و این امر به دلیل عملکرد صحیح گرمکن‌ها است.</p>