Panneau de chauffage infrarouge en céramique

Fri, 05 Jun 2026 01:29:30 +0800

Sur le sol de fabrication, le préchauffage et le durcissement sont les étapes où vous définissez le budget thermique qui détermine le contrôle des dimensions critiques. Si vous déplacez la température même de 1,5 °C sur le wafer, votre fenêtre de lithographie commence à disparaître. Nous avons conçu le panneau de chauffage infrarouge en céramique pour éliminer cette incertitude.

Ce qui est important, techniquement
Il s’agit d’infrarouge à ondes courtes, traversé par une matrice céramique dense afin que la chaleur atteigne exactement où vous en avez besoin, rapidement. Vous obtenez une uniformité au niveau du wafer de ±0,1 °C sur la zone active, et la répétabilité reste précise même lorsque les points de consigne changent. La surface résiste dans des salles blanches de Classe 1 à 100 : sans particules, sans dégazage, sans écaillage. La réponse est suffisamment rapide pour suivre des recettes dynamiques sans dépassement, de sorte que le budget thermique reste prévisible.

Panneau on Avancé carbone chauffages infrarouges

Panneau de chauffage infrarouge en céramique