http://carbon-ir-heater.com/fr/tags/pi%C3%A8ces/ Recent content in Pièces on Avancé carbone chauffages infrarouges Hugo fr Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/fr/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Mon, 22 Jun 2026 19:15:57 +0800 http://carbon-ir-heater.com/fr/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://carbon-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Pièces de chauffage pour résistances EUV"></p> <p>Dans une ligne de lithographie EUV, le chauffage du réactif n’est pas simplement une étape thermique à effectuer. C’est là que se décident la précision des lignes de contour et les critères concernant les défauts possibles. Un écart de quelques dixièmes de degré, ou même une faible quantité de particules, peut entraîner une inhomérogénéité dans la qualité des produits finis, ce qui rend de nombreux wafer inutilisables. Nous avons conçu nos éléments de chauffage pour éliminer ces variations.</p>