בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, כל שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה עלול לגרום לשינויים בתכונות החומר הפוטורזיסטיבי. שליטה בעובי הקווים, באיכות ההדבקה, בצפיפות הפגמים – כל אלו תלויים בשליטה המדויקת בטמפרטורה. יצרנו את המנורות באינפרא-אדום שלנו כדי לשמור על שליטה מדויקת בטמפרטורה.
העקרון הטכני פשוט: קרני האינפרא-אדום הקצרות פוגעות ישירות בוואף, גורמות לעלייה מהירה בטמפרטורה, ושומרות על אחידות מדויקת. אנו משתמשים בגלאי קוורץ-הלוגן שמאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה ושמירה על מצב יציב, כך שהאחידות בטמפרטורה על פני כל שטח האפייה נשמרת בטווח של ±0.1°C. תהליכי האפייה השונים מתבצעים עם שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שהמידות החיוניות נשארות בטווח המותר מדגם לדגם.
התאמה לחדרים נקיים נלקחה בחשבון – שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים, מערכות אטומות, והיעדר יצירת חלקיקים – כל אלו שומרים על רמת חלקיקים נמוכה בסביבות מסוג Class 1–100. המכשירים האלו נועדו לעבודה 24/7, והם מסוגלים לפעול למשך 5,000 שעות ויותר, תוך שמירה על רמת איכות גבוהה.
זה חשוב מכיוון שהזמן הפעיל והתפוקה תלויים באחידות. שליטה מדויקת בטמפרטורה מאפשרת להימנע מתיקונים של החומר הפוטורזיסטיבי, ולהימנע מבזבוז של ואפים עקב אי-אחידות תרמית. תגובה תרמית מהירה מקצרת את זמן הפעולה, מבלי לפגוע בשליטה. תפוקה יציבה מונעת בזבוז אנרגיה. בפועל, ניתן לראות חלוקה טובה יותר של המידות, פחות פגמים, ואפשרות לתכנון זמני תחזוקה בצורה יעילה.
נקודה חשובה: מנורות האינפרא-אדום דורשות מרחק התקנה מדויק ויישור של קו הראייה כדי לשמור על אחידות. יש לתכנן את ההתקנה בהתאם למכשיר, ולוודא שיש שליטה תרמית טובה עם הצלחת החימום. יש לוודא את תאימות המתח והחיבורים מראש, כדי למנוע בעיות בשטח. אם היישור נעשה כראוי, המערכת תפעל כמתוכנן – בצורה אחידה, חוזרת על עצמה, ותחת שליטה מלאה.