בחדרי הייצור, שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום עלול להרוס את כל אספקת הוופרים. לכן, יצרנו מחממים באינפרא-אדום מיוחדים, שמסייעים להימנע מסיכון זה. הם מאפשרים שליטה תרמית אחידה על כל וופר, במהלך תהליכי ייבוש, חימום הפוטורזיסט, ייבוש לאחר הניקיון ועוד.
מה חשוב באמת? המחממים פועלים באמצעות אור אינפרא-אדום, עם פרופיל ספקטרלי מותאם אישית – כך שהחימום מתבצע ישירות על הוופר, ללא חשש מזיהום. האחידות בטמפרטורה על פני הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות בין סיבובי החימום נשמרת בטווח של ±0.5°C. זמן התגובה של המחממים הוא פחות משניות, כך שניתן לשמור על שליטה טובה בטמפרטורה. ניתן להשיג סביבה נקייה ברמה 1–100 באמצעות שימוש בחומרים מסוג קוורץ/קרמיקה, חומרים ללא פליטות גזים, ועיצוב שמונע היווצרות של חלקיקים. מחממים אלו מיועדים לפעולה 24/7, עם זמן תפקוד של עשרות אלפי שעות, וניתן להחליף את המודולים כדי להפחית את זמן הזמן הבלתי מתוכנן שבו המחממים לא פועלים.
בתהליך הליתוגרפיה, חימום יעיל מאפשר שליטה טובה בממדים החשובים של הוופר. המחממים שלנו מאפשרים שליטה בטמפרטורת הפוטורזיסט, מה שמפחית את השונות ברוחב הקווים ומשפר את רמת ההצלחה בתהליך. בתהליכי ייבוש הוופר, חימום מהיר ואחיד מונע היווצרות של כתמים וסימנים על פני הוופר – ללא צורך במגע פיזי.
בתהליך האריזה, אותו מנגנון מאפשר שליטה אחידה בתהליכי האטימה של הוופר, מה שמקצר את זמן התהליך ומשפר את רמת האיכות. גם צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום מגיע ישירות למקום הרלוונטי, ולא לחדר החימום עצמו.
העניין הוא שמחממים אלו מותאמים אישית לציוד שלכם. גאומטריה של החדר, סוג המחזיקים ומיקום החיישנים – כל אלו חשובים. ההגדרות של המחממים נעשות במהירות, ויש צורך באוויר נקי ויבש כדי לשמור על רמת טמפרטורה יציבה. חשוב להתאים את הפרופיל הספקטרלי של המחממים לסוג החומר שעליו הם פועלים; אנו מספקים את הנתונים הדרושים לכך.